標(biāo)題: 拆解一款十分昂貴的掃描電鏡電子槍 [打印本頁(yè)]
作者: hawai1314    時(shí)間: 2020-8-4 10:26
標(biāo)題: 拆解一款十分昂貴的掃描電鏡電子槍
大家好~我又來(lái)拆電鏡了!
為啥要拆電子槍呢?這個(gè)話題要從遙遠(yuǎn)的2019年說起，那時(shí)還沒有病毒爆發(fā)，那時(shí)還沒有過年放假，深圳一位老大哥看我折騰的難受，于是說要支援我半套殘廢的鏡子直接研究，于是乎鏡子就在今年4月份到家了。
但是呢這玩意沒有驅(qū)動(dòng)部分，沒有電控部分也沒有圖紙手冊(cè)，所以想要知道電子槍上這一大把電纜的連接定義，就只能拆了。

這套鏡子到家之后經(jīng)過別扭的拆解，上樓組裝真空系統(tǒng)，從到處漏氣收拾到能抽到5e-6Torr，難為了我一個(gè)多月，眼看著收拾利索的真空系統(tǒng)要拆解破壞重新來(lái)調(diào)，心情格外蛋疼但是不拆也沒辦法，找不到接線定義等于廢鐵，最后糾結(jié)一個(gè)多月(其實(shí)是懶)決定開干!
廢話不多說了上圖 各位開始看戲
首先上圖鏡子組裝完之后鏡體和自己焊接的不銹鋼角鐵機(jī)架(電控部分還沒做只做了真空系統(tǒng)邏輯控制部分)



電子槍頂端燈絲倉(cāng)，打開可以看到里面的韋氏冒(柵極)里面包裹的是燈絲

透過電子槍真空管路接口向內(nèi)看，可以看到電子槍的兩個(gè)電極——柵極和陽(yáng)極

韋氏冒拔下來(lái)可以看到里面的燈絲，放大可以看到發(fā)叉型燈絲的尖端在柵極孔的正中心





OK 開拆電子槍本體，電子槍總覽

去掉燈絲柵極組件的陽(yáng)極帽部分

特寫，可以看到陽(yáng)極帽上被電子打過的痕跡，可以猜測(cè)這個(gè)鏡子用的時(shí)間不算短

拆掉第一級(jí)鏡筒組件，可以看到第一層電子透鏡(電子透鏡用來(lái)匯聚電子束)

第一級(jí)電子透鏡光柵特寫

拆掉螺絲拿出第一級(jí)電子透鏡和陽(yáng)極帽總成，可以看到里面的電子透鏡線圈

線圈特寫，此組線圈用來(lái)對(duì)電子槍的電子束光斑進(jìn)行形變矯正，每次更換燈絲之后陰極(燈絲)柵極相對(duì)于陽(yáng)極的位置就會(huì)發(fā)生微小的變化。
這些變化會(huì)導(dǎo)致電子束打在最終樣品上的光斑由圓形變成橢圓形，導(dǎo)致電鏡在高倍率(10000X)下相場(chǎng)模糊或者被觀測(cè)物體有形變。
這時(shí)就需要用到這兩組線圈來(lái)校正光斑，使光斑達(dá)到最完美的圓形來(lái)消除這種畸變

陽(yáng)極帽特寫，燈絲通電被加熱后電子會(huì)溢出在韋氏冒(柵極)周圍形成電子云，在陽(yáng)極電場(chǎng)的吸引下高速射出行程電子束

陽(yáng)極組件和光柵管



擰開陽(yáng)極帽后看到電子槍校正線圈組的真面目，該組線圈由兩組組成每組線圈又分為X和Y兩個(gè)方向。
給不同線圈施加電壓從而達(dá)到校正的目的





第一組拆解完畢，接下來(lái)的一組鏡筒內(nèi)是聚焦電磁透鏡組。
該組線圈由兩個(gè)聚焦線圈組成，碩大而厚實(shí)的線圈可以提供強(qiáng)有力的磁場(chǎng)將電子束聚焦到幾nm的光斑，從而達(dá)到200000X的放大倍率。

線圈特寫

拆掉聚焦線圈組后，就看到了最核心的掃描和相差校正線圈組，該組線圈外面鐵殼內(nèi)還有一組物鏡線圈。

電子束射出聚焦透鏡組后，進(jìn)入掃描線圈組的光柵




拆開聚焦透鏡組后端的蓋板，里面還有一個(gè)手動(dòng)光柵組件，該組件可以人為選擇電子束的光斑直徑


光柵背面特寫

光柵正面特寫，以看到兩個(gè)光柵上都有電子束打過的痕跡，而且顏色都不相同很好看。
眼尖的您能看得到光柵孔的位置嗎?

光柵組件拆完之后，有個(gè)奇怪的結(jié)構(gòu)類似渦旋壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)子一層一層圍繞在光柵桿外圍



考慮良久分析之后，想到這個(gè)結(jié)構(gòu)部件的可能用途之一是吸收打在光柵板上的濺射電子，防止濺射電子被帶入下一級(jí)電子透鏡和光柵。

聚焦透鏡組出射光柵

掃描透鏡組入射光柵



取出光柵頭后的掃描透鏡組件和物鏡總成

物鏡(本質(zhì)是一個(gè)錐形電磁線圈)

拆掉物鏡外殼后內(nèi)部的結(jié)構(gòu)

物鏡外殼銹蝕嚴(yán)重

值得慶幸的是物鏡光柵是純紫銅的并沒有受到腐蝕

被電子濺射形成色斑的物鏡鏡筒



物鏡鏡筒光柵

小心翼翼的抽出掃描線圈組件

組件內(nèi)各類電磁透鏡的極靴管

線圈組特寫，從左至右依次為：第一級(jí)輔助聚焦線圈，像散修正線圈組(8枚空心小線圈)，掃描線圈，第二級(jí)輔助聚焦線圈。



像散修正線圈組特寫

整個(gè)透鏡組特寫



最后上圖描述一下，如何查找每組線圈對(duì)應(yīng)的接線和功能——熱成像!
是的，利用電流在線圈內(nèi)會(huì)發(fā)熱的原理，給線圈施加500mA的電流，然后用熱成像觀察發(fā)熱的線圈，從而得出接線端子和線圈的對(duì)應(yīng)關(guān)系。



通過給線束相同的接頭，通電利用熱像觀察，就可以準(zhǔn)確的分析出正在通電的接頭和線圈的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
這樣就能快速準(zhǔn)確的理清這一大堆插頭連線的功能







這是一天折騰之后摸索出的所有線圈接線和功能

最后回到家里將電子槍組裝起來(lái)，抽真空實(shí)驗(yàn)結(jié)果，還好沒有作孽，真空度輕松的達(dá)到了3e-5Torr

至此，全劇終。


作者: taotie    時(shí)間: 2020-8-4 11:40
厲害~~分析的很有道理！采用熱成像分析線圈接線很高明~~~~
有個(gè)奇怪的結(jié)構(gòu)類似渦旋壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)子一層一層圍繞在光柵桿外圍。這個(gè)結(jié)構(gòu)跟滅弧器很相象。



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